微波等離子清洗機結構組成介紹微波等離子清洗機總體結構分為五個(gè)部分：設備主體、真空系統、微波放電系統、控制系統和供氣系統。微波等離子清洗設備結構示意見(jiàn)圖1。其清洗過(guò)程是：在真空腔內壓力到達一定范圍時(shí)充入工藝氣體,當腔內壓力為動(dòng)態(tài)平衡時(shí)，利用微波源振蕩產(chǎn)生的高頻交變電磁場(chǎng)將氧、氬、氫等工藝氣體電離，生成等離子體，活性等離子體對被清洗物進(jìn)行物理轟擊與化學(xué)反應雙重作用，使被清洗物表面物質(zhì)變成粒子和氣態(tài)物質(zhì)，經(jīng)過(guò)抽真空排出，而達到清洗目的。
圖一 微波等離子清洗機結構示意圖真空系統結構
微波等離子清洗機真空系統主要包括等離子工作腔、磁流體密封、真空連接管道（包含氣動(dòng)角閥）、真空測量計及真空泵等。
激發(fā)的微波等離子體在工作腔內形成特定的等離子分布，對放置在工作腔內的被清洗工件進(jìn)行清洗及表面處理，為此，工作腔內需要包含真空、充氣、放置樣品支架、觀(guān)察窗口等設施，以確保特定應用的需要。
微波放電系統
微波源
微波放電系統主要由微波源及微波反應腔組成，微波源是將交流電源轉變成微波功率的部件，典型微波源是由磁控管及其供電電源、微波傳輸系統、冷卻裝置等組成。
微波反應腔
微波反應腔是微波等離子體系統中最核心的元件，需要根據不同系統的具體要求專(zhuān)門(mén)設計、加工。微波反應腔的作用在于確保微波功率在腔中形成特定的模式分布，并使之和特定的等離子體、目標反應物產(chǎn)生最有效的相互作用，從而穩定的激發(fā)并維持等離子體。
微波反應腔的主要功能歸結起來(lái)有兩條：一是最佳的功率傳輸和耦合；二是最佳的互作用效果。一般來(lái)說(shuō)，微波反應腔是這樣一套裝置或終端互作用系統：它將微波功率以最佳的匹配或最小的反射耦合至該裝置，并在其中形成特定的電場(chǎng)分布，使之能與被處理的工件產(chǎn)生最佳的互作用效果。
供氣系統
供氣系統設計通過(guò)控制質(zhì)量流量計來(lái)調整和控制工藝氣體流量。微波等離子清洗機結構組成介紹00224435