真空等離子清洗機作為一種綠色無(wú)污染的高精密干法清洗設備，可以有效去除表面污染物，該設備具有清洗快速、安全環(huán)保、低溫經(jīng)濟、操作簡(jiǎn)單等優(yōu)勢，廣泛應用于刻蝕、表面活化、材料改性、表面清洗等領(lǐng)域?，F將我司真空等離子清洗機系列設備多年來(lái)運行中的常見(jiàn)報警故障和典型案例進(jìn)行匯總分析，并將報警現象、維修過(guò)程和故障總結進(jìn)行簡(jiǎn)要陳述，以便于廣大用戶(hù)遇到類(lèi)似或者相同故障進(jìn)行借鑒參考。1、真空等離子清洗機顯示氣體壓力過(guò)低,工作氣體耗盡報警
出現這種故障時(shí)，可能是氣體未開(kāi)啟或氣體已耗盡，需要檢查腔體底部的破真空所用氣路電磁閥是否正常工作，線(xiàn)路有無(wú)出現斷路或短路的現象。
2、真空泵倒計時(shí)時(shí)間故障
當遇到此類(lèi)故障時(shí)需要先檢查真空泵抽真空能力，故障排除后再點(diǎn)擊復位鍵，出現滲氣或真空門(mén)未關(guān)到位都會(huì )影響真空泵抽真空能力。除了這些外還需要逐級檢查等離子真空處理系統中的各連接點(diǎn)，看是否有管道連接不良或損壞的情形。
3、壓縮空氣壓力低于設定值報警
此報警也叫破空氣體壓力過(guò)低報警，是因為壓縮空氣的氣壓不足導致的，主要出現于配有高真空氣動(dòng)擋板閥的真空等離子清洗機，出現此報警時(shí)需檢查CDA是否正常供氣到設備端。確認供氣壓力有無(wú)過(guò)高或過(guò)低，還要看減壓表的報警值設定是否正確，處理這些之外還要再對電氣線(xiàn)路進(jìn)行檢查。
4、真空計故障報警
真空計故障報警最可能的原因就是由于真空計損壞造成的，這時(shí)需要我們檢查真空計的控制線(xiàn)路是否有斷路和短路的情況。
5、真空等離子清洗機的急停未復位或已按下報警
此時(shí)需檢查急停是否被按下，若是未出現這類(lèi)情況，就要檢查急停線(xiàn)路。
6、RF匹配異常報警
調節射頻等離子體的入射功率和反射功率,使發(fā)生器與等離子體阻抗相匹配
7、反應倉泄露率過(guò)大報警
檢查真空腔體的氣密性，看是否有哪里漏氣，檢查各連接處的漏率，對于泄漏點(diǎn)的處理方法主要是對密封件進(jìn)行定期檢查并及時(shí)更換，這樣就避免了由于密封件老化等原因引起的高真空抽不到預設值的情況。
8、真空等離子清洗機的真空泵過(guò)載保護
當真空等離子清洗機出現報警情況時(shí)，其中有一種可能就是真空泵過(guò)載保護，在發(fā)生此類(lèi)情況時(shí)，需要先檢查系統參數有沒(méi)有變化，因為在這種情況下，設備會(huì )中止供電，系統的各參數會(huì )歸零，于是才會(huì )響起警報聲，如果經(jīng)過(guò)檢查后系統參數并沒(méi)有發(fā)生變化，就需要確認熱繼電器是否自動(dòng)保護，按復位鍵后啟動(dòng)真空等離子處理系統的真空發(fā)生系統。如無(wú)自動(dòng)保護，就需要檢查電氣線(xiàn)路是否有斷路或短路情況。若是以上均無(wú)異常情況，就再檢查真空泵情況。
以上是真空等離子清洗機常見(jiàn)報警原因分析和解決方案的匯總分析。最后需要強調的是平時(shí)還應該加強培訓操作使用人員，所有操作者必須掌握該設備的操作方法、性能、注意事項、維護保養，所有人員嚴格按照操作規程使用設備，所有操作者能知曉該設備的各種報警信息和如何處理故障。定期做真空漏率測試，以保證較好的高真空度，定期清洗反應腔室，尤其是上電極以及氣體噴淋孔。24488