集成電路生產(chǎn)工藝需求，前期芯片制造，后期封裝及混合電路等的可持續發(fā)展;陶瓷、石英、高分子工程塑料等表面納米級的活化改性，由非極性到帶有一層納米級的極性材料表層，以提高材料表面物理和化學(xué)的粘接印刷涂覆上漆性能，最貼近生活化的如制鞋業(yè)的工藝生產(chǎn)需求，連接器上logo的印刷等;LCD液晶顯示屏表面有機物干擾材料的去除;金屬表層氧化物的去除等;等離子清洗的應用例子極為廣泛，而在等離子清洗設備反應腔室的電極載物托盤(pán)上進(jìn)行托盤(pán)等離子有效區的整體均勻加熱行程高溫處理環(huán)境，在腔室四周外壁和真空門(mén)進(jìn)行水冷，成為了促進(jìn)等離子處理過(guò)程的有效方法。溫度是等離子體產(chǎn)生的極重要因素，太陽(yáng)及太陽(yáng)風(fēng)(太陽(yáng)日冕)、熱核聚變就是典型的例子，研究不同溫度下等離子清洗系統內等離子的密度活性，處理速度及均勻性，可選擇性地得到適宜的材料處理種類(lèi)及厚度和處理后表面材料特性，并且不會(huì )對基材表面產(chǎn)生等離子損傷及熱損傷，這項技術(shù)具有很大的實(shí)用意義。此方面應用需求將越來(lái)越大，尤其是持續發(fā)展與需求的半導體集成電路生產(chǎn)領(lǐng)域。
等離子清洗設備能加高溫嗎？
等離子清洗設備可以采用石英加熱管的紅外熱輻射方式提高溫度，其電熱轉換效率高，使用壽命長(cháng)，且電源引線(xiàn)不用暴露于真空腔體及等離子處理區域內，以防止加熱方式的過(guò)早疲勞損壞引起不必要的短路等隱患。加熱溫度可設置為較之前更高一些的溫度，如300℃～400℃，最高耐溫達800℃攝氏度。24707