半導體元器件生產(chǎn)制造中基本上所有的工藝流程都是有清理這種環(huán)節,其主要目的是為了更好地完全清除電子器件表層的顆粒、有機化合物和無(wú)機化合物的沾污殘渣,以確保產(chǎn)品品質(zhì)。等離子清洗機工藝技術(shù)的特有性,現已逐步被人們高度重視起來(lái)。
半導體封裝行業(yè)廣泛運用的物理、化學(xué)清洗方式大體上可分為濕式清理和干式清理兩大類(lèi),尤其是干式清理發(fā)展趨勢特別快,這其中等離子清洗機優(yōu)越性顯著(zhù),有利于促進(jìn)提升晶粒與焊盤(pán)導電膠的黏附能力、焊錫膏浸潤性能力、金屬絲引線(xiàn)鍵合抗拉強度、塑封料和金屬外殼包裹的穩定性等,在半導體元器件、微機電系統、光電電子器件等封裝行業(yè)中應用推廣的市場(chǎng)發(fā)展前景寬闊。24677