目前等離子清洗技術(shù)在光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、高分子、生物醫學(xué)、微流體力學(xué)等領(lǐng)域得到了廣泛的應用。等離子清洗機Plasma Cleaner又被稱(chēng)為等離子蝕刻機、等離子去膠機、等離子活化機、Plasma清洗機、等離子表面處理機、等離子清洗系統等。通過(guò)等離子清洗機的表面處理,能夠改善材料表面的潤濕能力,使多種材料能夠進(jìn)行涂覆、涂鍍等操作,增強粘合力、鍵合力,同時(shí)去除有機污染物、油污或油脂。
等離子清洗機能移除光學(xué)元件、半導體元件等表面的光阻物質(zhì),去除金屬材料表面的氧化物。例如玻璃光學(xué)鏡片通過(guò)借助等離子表面處理技術(shù),樹(shù)利用能量轉換技術(shù),在一定的真空負壓狀態(tài)下,以電能將氣體轉變成活性極高的氣體等離子體,氣體等離子能輕柔地沖刷固體樣品表面,引起分子結構的改變,從而達到對樣品表面有機污染物進(jìn)行超清洗,從而在極短的時(shí)間內實(shí)現超清洗,從而達到對樣品表面有機污染物的超清洗。在一定條件下,樣品的表面性質(zhì)也會(huì )發(fā)生變化。24644