如何判斷常壓等離子清洗效能已經(jīng)衰減？常壓plasma等離子清洗機在經(jīng)過(guò)長(cháng)時(shí)間使用后，有可能因為電子元件、電極及材料老化導致等離子效能減弱，因此常會(huì )有客戶(hù)詢(xún)問(wèn)要如何知道plasma已經(jīng)出了問(wèn)題?在此筆者分享幾種方式供讀者參考：
(1)光譜量測:如前所述，以光譜儀量測等離子所發(fā)出之光譜，等離子光譜能直接量測出等離子中活性成份，是最直接有效的做法，但等離子光譜價(jià)格昂貴，只有少數使用者會(huì )考慮使用。
(2)朗繆耳探針(Langmuirprobe):朗繆耳探針可用來(lái)測試等離子中電子密度，電子能量等；常用于研究單位，早期多應用在真空等離子體密度量測，最近也有應用于大氣等離子體的朗繆耳探針上市。跟光譜儀一樣價(jià)格昂貴，知道及使用者不多。
(3)水滴接觸角測試:以水滴接觸角量測儀量測經(jīng)過(guò)等離子處理后的試片，藉由標準試片測試來(lái)判斷電等離子效能是否正常，此方法是最常用的方法，但需注意標準試片表面特性是否一致，否則容易誤判。
(4)達因筆測試:以達因筆測試被處理試片表面，當試劑攤平時(shí)表示被處理物表面能比試劑大，反之則相反。此方法跟水滴接觸相似，也是使用最多的方法之一，此方法可以直接量測被處理物表面能；若要量測等離子效能是否衰減，一樣要以標準試片來(lái)測試較具參考價(jià)值，但需注意標準試片表面特性是否一致及達因筆保存方式是否正確。
(5)光阻蝕刻率量測:以特定厚度的光阻進(jìn)行等離子蝕刻率量測，也可以測出等離子效能是否衰減，此方法概念相當好，但由于大氣電漿并不是整面均勻，光阻蝕刻后如何從不同的圖案去判斷蝕刻率快與慢可能需要事前做好研究。另外，當噴頭開(kāi)口電性或孔徑發(fā)生變化時(shí)也會(huì )影響蝕刻出來(lái)的圖案，因此最好能更換噴頭再測試，交叉比對測試結果。
(6)由常壓等離子清洗機輸出功率、電壓及電流來(lái)判斷:等離子可以看成是一種電子元件，當元件老化時(shí)，功率、電壓及電流的關(guān)係也會(huì )發(fā)生變化，利用監控該特性值的改變也可用來(lái)判斷電漿狀態(tài)是否改變，此方法常被用來(lái)判斷電漿是否失效；由于大氣等離子清洗機電壓、電流及功率值浮動(dòng)較大，要用來(lái)判斷大氣等離子效能是否衰減恐不夠靈敏。如何判斷常壓等離子清洗效能已經(jīng)衰減？00224406