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從反應機理上看，等離子清洗一般包括以下過(guò)程：無(wú)機氣體被激發(fā)成等離子態(tài)；氣相物質(zhì)吸附在固體表面；吸附的基團與固體表面分子反應生成產(chǎn)物分子。 . 形成。分析產(chǎn)物分子以形成氣相；反應殘留物從表面出現。氣體壓力控制是保證等離子清洗機正常運行的重要參數之一。典型的氣體減壓器包括氣瓶減壓器、氣動(dòng)調節器和管道節流閥。 1、氣瓶減壓裝置氣缸減壓裝置是將氣缸內的高壓氣體減壓為低壓氣體的裝置。
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