低溫等離子技術(shù)中的物質(zhì)呢?一個(gè)中性原子、分子結構或一組原子，等離子體刻蝕機縮寫(xiě)其電子處在高運動(dòng)狀態(tài)，其電子處在活動(dòng)狀態(tài);原子和分子結構的離子開(kāi)花;分子結構解離反應中形成的紫外線(xiàn);未反應的分子結構、原子等，總體上保持電荷平衡?，F階段，真空等離子清洗機的運用越來(lái)越普遍。

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表 6.1 一般氣體分類(lèi)及基本特性氣體類(lèi)型中文名英文名英文縮寫(xiě)采用特征惰性氣體氮氮N2稀釋穩定的氬氣氬氣氬氦海倫他還原氣氫氫H2減少易燃易爆氧化氣體氧氧02 02氧化燃燒支持2.特殊氣體等離子清潔器專(zhuān)用氣體是一種由于供應量相對較低而不能立即使用的氣體。盡管這些氣體通常相對活潑、有毒且具有腐蝕性，但在使用這些特殊氣體時(shí)應格外小心，因為它們是某些集成電路制造工藝步驟中必不可少的材料來(lái)源。

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維修及保養plasma表面處理設備時(shí)，首先要將設備電源關(guān)掉，待斷電后再進(jìn)行相應運作，確保不能帶電工作，以免發(fā)生意外。。plasma表面處理設備在印刷包裝行業(yè)有什么應用？采用plasma表面處理設備處理工藝，可以大大提高印刷包裝行業(yè)的粘接強度，有利于降低成本，穩定粘接質(zhì)量。

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