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PLASMA清洗機的功能主要是:等離子活化:大幅提高表面的潤濕性能,形成活性的表面等離子清洗:去除灰塵和油污,清洗和去靜電等離子涂層:通過(guò)表面涂層處理提供功能性的表面1)對材料表面的刻蝕作用--物理作用等離子體中的大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子,作用到固體樣品表面,不但清除了表面原有的污染物和雜質(zhì),而且會(huì )產(chǎn)生刻蝕作用,將樣品表面變粗糙,形成許多微細坑洼,增大了樣品的比表面。

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