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等離子體刻蝕機借助于電子、自由基、離子在電壓下形成輝光放電,實(shí)現常規清洗方式不能實(shí)現的作用。等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),又稱(chēng)物質(zhì)的第四種狀態(tài),不屬于常見(jiàn)的固液氣三種狀態(tài)。對氣體施加足夠的能量使其離化成等離子狀態(tài)。等離子體的活性成份包括離子、電子、原子、活性基團、激發(fā)態(tài)核素(亞穩態(tài))、光子等。等離子體刻蝕機是借助于這類(lèi)活性成份的性質(zhì)來(lái)處理樣品表層,進(jìn)而實(shí)現清潔和涂覆的目的。
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