在陽(yáng)極附近有一個(gè)幾毫米厚的陽(yáng)極電位降區，外延片等離子體表面處理設備其電位差基本上等于氣體電離電位差。 3、電弧放電區：當電流超過(guò)10-1A且氣壓較高時(shí)，正柱區產(chǎn)生的焦耳熱大于粒子擴散帶向壁面散發(fā)的熱量，所以中心溫度為正柱，面積增加，氣體電導率增加。由于體積大，電流集中在正極柱區的中心，形成不穩定的收縮。導電正極柱收縮成溫度更高、電流密度更高的電弧，將電弧放電。

從上述過(guò)程可以看出，外延片等離子體表面處理設備電子從電場(chǎng)中獲取能量，獲得能量的分子和原子被激發(fā)，能量通過(guò)激發(fā)和電離傳遞給分子和原子，部分分子被電離。..形成活性自由基。這些反應基團然后與分子或原子、反應基團和反應基團碰撞，產(chǎn)生穩定的產(chǎn)物和熱量。此外，鹵素和氧電子也可以對高能電子具有親和力。

與組件的小面積接觸導致與熔合接觸，外延片等離子去膠機這發(fā)生在材料之間并形成失效原因。此外，零件的高速運轉擴大了損壞的來(lái)源，導致附著(zhù)的零件撕裂或剝落并嵌入摩擦副之間。這些硬質(zhì)顆粒在兩個(gè)滑動(dòng)面之間形成切削作用，破壞摩擦面，造成熔合磨損。這種由熔合磨損引起的過(guò)程本質(zhì)上是“以?xún)蓚€(gè)滑動(dòng)面局部熔合為特征的嚴重損傷”。

這是因為當CO2濃度高時(shí)，外延片等離子體表面處理設備體系中的活性氧過(guò)多，它們與CH4分子相互作用產(chǎn)生氧化產(chǎn)物，并與產(chǎn)生的C2烴產(chǎn)物相互作用轉化C2H6，這是為了促進(jìn)它。將 C2H4 和 C2H2 轉化為氧化產(chǎn)物。 CO 產(chǎn)率隨著(zhù) CO2 濃度的增加而增加，當 CO2 濃度超過(guò) 50% 時(shí)達到一個(gè)恒定值。同時(shí)，隨著(zhù)系統中 CO2 濃度從 15% 增加到 85%，產(chǎn)品中 H2 與 CO 的摩爾比從 3.5 下降到 0.6。

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主要電氣控制部分有真空泵、射頻電源、真空計、定時(shí)器、浮子流量計、綠色電源指示燈、蜂鳴器、功率調節器、排氣按鈕（自鎖）、氣1按鈕（自鎖）、氣2它包括在內。按鈕（自鎖）、高頻電源按鈕（自鎖）、真空泵按鈕（自鎖）、總功率旋鈕開(kāi)關(guān)。等離子發(fā)生器可以使操作人員遠離對人體有害的有害溶劑。等離子發(fā)生器可以使操作人員遠離對人體有害的有害溶劑。油泵室。一些應用程序是獨立的，而其他應用程序是組合的。

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