血漿&rdquo；活動(dòng)&rdquo；成分包括：離子、電子、活性基團、激發(fā)態(tài)核素（亞穩態(tài)）、光子等，丙烯顏料噴涂附著(zhù)力等離子體表面處理機就是利用這些活性成分的性質(zhì)對樣品表面進(jìn)行處理，達到光刻膠清洗、改性、灰化的目的。

將此二極管電路與可變電壓電源連接。限流電阻器可以改變外部電路中的電阻，丙烯顏料噴涂附著(zhù)力因此可以在任何電壓電平下獨立調節電流。電流電源可獨立選擇和控制電壓的幅值、持續時(shí)間和周期，使等離子體區負氮離子均勻分布在工件表面；遮蓋而不引起嚴重的發(fā)燒。工藝控制器可獨立調節工件表面氮離子濃度和溫度。氮等離子體表面處理是一個(gè)正常的有限擴散過(guò)程。

它的機理是：在低壓下，怎么增加丙烯顏料的附著(zhù)力由ICP射頻電源向環(huán)狀耦合電磁線(xiàn)圈輸出，通過(guò)耦合電弧放電，混合刻蝕汽體通過(guò)耦合電弧放電，產(chǎn)生致密的等離子體，在下電極RF作用下，在基片表面躍遷，基片圖形區域內的半導體器件的離子鍵被打斷，與刻蝕汽體產(chǎn)生揮發(fā)性物質(zhì)，將汽體從基片中分離出來(lái)，抽離真空管。同樣條件下，氧氣等離子體清理比氮氣等離子體清理效果更好。

等離子體是物質(zhì)的第四種狀態(tài)，丙烯顏料噴涂附著(zhù)力通過(guò)在氣態(tài)中接收足夠的能量可以轉化為等離子體狀態(tài)。它是一個(gè)由帶電粒子（包括離子、電子和離子簇）和中性粒子組成的系統。具體來(lái)說(shuō)，等離子體是一種特殊類(lèi)型的電離氣體。為了獲得等離子體特性（電離度> 10-4），需要具有足夠電離度的電離氣體。。干洗工藝是潔凈室等苛刻條件，使用方便靈活，工藝簡(jiǎn)單，對各種形狀的零件加工效果明顯，工藝條件完全可控，成本低，效果好，時(shí)間短等特點(diǎn)可以滿(mǎn)足。。

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除了在上述一些具有代表性的關(guān)鍵領(lǐng)域的應用之外，它還在汽車(chē)制造的更多領(lǐng)域中得到了深入應用。因此，它已經(jīng)被行業(yè)內的制造商所采用，成為當前生產(chǎn)過(guò)程中不可缺少的一部分。。等離子體清洗技術(shù)作為新時(shí)代的高科技清洗技術(shù)，有著(zhù)廣泛的應用，如半導體、LED后加工、真空電子、連接器及繼電器等行業(yè)的精密清洗加工。

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