非彈性碰撞導致激發(fā)(分子或原子中的電子從低能級躍遷到高能級)。能級)、解離(分子分解成原子)或電離(分子或原子從外部電子的鍵合狀態(tài)變?yōu)樽杂呻娮樱?。熱氣體通過(guò)傳導、對流和輻射將能量傳遞到周?chē)h(huán)境。在穩態(tài)下,硬板等離子體清洗機特定體積的輸入能量和損失能量相等。電子與重粒子(離子、分子、原子)之間的能量轉移率與碰撞頻率(每單位時(shí)間的碰撞次數)成正比。
階段是到達基質(zhì)表面的碳。以基體表面缺陷、金剛石子晶等為中心的原子的成核和生長(cháng)。因此,硬板等離子體清洗設備決定金剛石成核的因素有: 1. 基體數據:由于成核取決于基體表面碳飽和程度和到達核心的碳量,因此基體數據的臨界濃度以及碳分散因子對成核有顯著(zhù)影響。 .色散因子越高,就越難達到成核所需的臨界濃度。有了這些數據,很難直接對鐵、鎳和鈦等金屬基體進(jìn)行成核。另外,對于碳色散因子低的數據,金剛石可以快速成核,如鎢、硅等。
與組件的小面積接觸導致與熔合接觸,硬板等離子體清洗機這發(fā)生在材料之間并形成失效原因。此外,零件的高速運轉擴大了損壞的來(lái)源,導致附著(zhù)的零件撕裂或剝落并嵌入摩擦副之間。這些硬質(zhì)顆粒在兩個(gè)滑動(dòng)面之間形成切削作用,破壞摩擦面,造成熔合磨損。這種由熔合磨損引起的過(guò)程本質(zhì)上是“以?xún)蓚€(gè)滑動(dòng)面局部熔合為特征的嚴重損傷”。
由于速度較慢,硬板等離子體清洗機當板材沿厚度方向受熱時(shí),其頂面和底面將一起處于塑性狀態(tài)。板的正面先受熱,板的背面受熱時(shí)先膨脹,使板產(chǎn)生很小的反向彎曲變形。由于加熱速度較慢,來(lái)自正面的熱量緩慢地傳遞到背面,導致正面和背面之間的溫度梯度非常小。在相對較大的受熱區域,材料隨著(zhù)溫度的升高繼續熱膨脹,相鄰區域的冷材料需要限制膨脹,從而導致受熱區域的整體壓縮更大。
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這種結構就是護套層,可以是上面的電容器。電容器處于放電環(huán)境中,電荷存儲在表面上,從而產(chǎn)生電場(chǎng)。電場(chǎng)必須對應于電壓。由于平衡,也就是這個(gè)電場(chǎng),和電壓是動(dòng)態(tài)的靜電場(chǎng),也就是直流電場(chǎng)和直流電壓,就形成了一個(gè)VDC。腔室的內壁接地,形成的偏置場(chǎng)阻擋電子,因此這個(gè) VDC 在接地的內壁上具有負值或負偏置。施加到電極上的負偏壓與射頻電壓一起形成復合電壓,如下圖所示。
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