工件表面上的污染物,如油脂、通量,膠卷,脫模劑,沖壓油,等等,很快就會(huì )被氧化成二氧化碳和水,并將由真空泵抽離,從而達到清洗的目的和改善表面滲透和附著(zhù)力。低溫等離子體處理只涉及材料的表面，二氧化硅等離子體清洗設備不影響材料的性能。由于等離子體清洗是在高真空條件下進(jìn)行的，等離子體中各種活性離子自由路徑長(cháng)，穿透性和滲透性強，可以用細管和盲孔等復雜結構進(jìn)行處理。

等離子體處理過(guò)程包括化學(xué)反應和物理反應?；瘜W(xué)過(guò)程:在化學(xué)等離子體過(guò)程中，二氧化硅plasma表面處理自由基與被清洗物體表面的元素發(fā)生化學(xué)反應的反應。這些反應的產(chǎn)物是非常小的、易揮發(fā)的分子，可以用真空泵泵出。在有機清潔應用中，主要的副產(chǎn)品通常包括水、一氧化碳和二氧化碳?；诨瘜W(xué)反應的等離子體清洗，清洗速度快，選擇性好，是去除有機污染物最有效的。缺點(diǎn)是氧化發(fā)生在表面。

顯然，二氧化硅plasma表面處理途徑3對于等離子體催化作用下CH4和CO2的轉化無(wú)疑是重要的。催化劑在等離子體中的活化主要依賴(lài)于與高能電子的碰撞。由于催化劑性質(zhì)不同，活性不同，對甲烷和二氧化碳的吸附和活化能力也不同。從以上實(shí)驗結果可以看出，在同一等離子體的作用下，NiO/ Y-al2o3對甲烷和二氧化碳的吸附和活化能力很強，CH和二氧化碳的轉化率較高。相反，Co2O3/ Y-al2o3對甲烷的吸附和活化作用弱，CH4轉化率低。

大氣等離子清洗機可以去除表面看不見(jiàn)的有機污染物，二氧化硅等離子體清洗設備肉眼看不見(jiàn)的，工件表面的薄膜層。一次超細清洗可解決工件表面粘附問(wèn)題。例如清洗時(shí)，工作氣體往往是氧氣，它被加速的電子轟擊成氧離子、自由基，氧化性極強。零件表面的污染物，如潤滑脂、助焊劑、光敏膜、脫模劑、沖床油等，很快就會(huì )被氧化成二氧化碳和水，通過(guò)真空泵排出，達到清洗表面的目的。低溫只觸及數據的表面，不影響數據主體的性質(zhì)。

二氧化硅等離子體清洗設備

最后，它會(huì )分解成像水和二氧化碳這樣的簡(jiǎn)單分子。在其他情況下，當自由基與表面分子結合時(shí)，它們會(huì )釋放大量的結合能，這些結合能反過(guò)來(lái)成為新的表面反應的驅動(dòng)力，導致表面上的物質(zhì)被化學(xué)去除。

等離子體包括原子、分子、離子、電子和活性基團，被激發(fā)的原子、分子和激活的自由基，這些粒子的能量和活度很高，這種能量足以摧毀幾乎所有的化學(xué)鍵，能與任何顯示物體外表產(chǎn)生化學(xué)反應，讓化學(xué)鍵被打開(kāi)并與修飾過(guò)的原子結合等活性很高的物質(zhì)，數據表面的親水性得到了很大的提高。同時(shí),新化學(xué)反應的石油和其他有機大分子表面的數據生成小分子氣體,如二氧化碳,水和其他氣態(tài)物質(zhì),由真空泵抽走,從而達到分子水平上清潔的表面數據。

大氣等離子清洗機在塑料行業(yè)中的應用如何:隨著(zhù)高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對產(chǎn)品使用的各種工藝的技術(shù)要求越來(lái)越高。等離子清洗機表面處理技術(shù)的出現，不僅提高了產(chǎn)品性能，提高了生產(chǎn)效率，而且達到了安全環(huán)保的效果。等離子清洗機的表面處理技術(shù)可應用于材料科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫學(xué)材料、微流體研究、微電子機械系統研究、光學(xué)、顯微鏡和牙科保健等領(lǐng)域。

通過(guò)等離子體處理N2、NH3、O2、SO2等可以改變聚合物材料的表面化學(xué)成分，引入-NH2、-OH、COOH、SO3H等新的官能團。這些官能團可使聚乙烯、聚丙烯、聚苯乙烯、聚四氟乙烯等完全惰性基材變成官能團材料，可改善表面極性、滲透性、粘結性、反應性，大大提高其使用價(jià)值。與氧等離子體不同，低溫等離子體處理后，可將氟原子引入基板表面，使基板疏水。

二氧化硅等離子體清洗設備

形成裝置及影響因素熱等離子體一般是由常壓氣體電暈放電產(chǎn)生，二氧化硅plasma表面處理而冷等離子體是由低壓氣體輝光放電產(chǎn)生。熱等離子體設備[4]利用帶電體尖端(如刀或針尖和狹縫電極)引起電場(chǎng)不均勻，稱(chēng)為電暈放電。電壓和頻率、電極間距、加工溫度和時(shí)間都影響電暈處理效果。隨著(zhù)電源電壓和頻率的增加，處理強度高，處理效果好。但是，如果工頻過(guò)高或電極間隙過(guò)寬，則電極之間會(huì )發(fā)生過(guò)多的離子碰撞，造成不必要的能量損失。

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