處理方法：用蘸有酒精或丙酮的干凈布（紙）清潔玻璃，咸陽(yáng)氧等離子體清洗機或直接更換真空玻璃。 3、真空泵使用的油是一種特殊的抗氧化油。及時(shí)更換有助于真空泵正常運行，延長(cháng)泵體壽命。我們建議您每 3 個(gè)月更換一次。如果真空泵內油量充足，觀(guān)察油位的警示表指示的油位低于使用下限（油位表旁邊有明顯標記） 注入新油時(shí)間到正常的油耗。三、更換真空泵油的具體步驟： 1.打開(kāi)真空泵注油口的注油塞（六角扳手）。

1、真空室和真空系統固定在柜體框架上。機柜框架尺寸為1722X1060X1840。左右有可移動(dòng)的門(mén)，氧等離子體處理硅片背面有兩個(gè)相對的門(mén)。因此，內部維護真空室和真空系統非常重要。方便的。真空室尺寸為600X600X600，可同時(shí)加工9層550X550尺寸的工件。真空室和真空閥固定在框架上。

此外，氧等離子體處理硅片如果必須保持氧氣的流動(dòng)，真空度越高，氧氣的相對比例就越高，產(chǎn)生的活性粒子濃度也越高。但是，如果真空度太高，活性粒子的濃度反而會(huì )降低。四、氧氣流量的調節：氧氣流量大，活性粒子密度大，脫膠速度加快，但流量過(guò)大，離子復合概率增加，電子平均自由程增加。運動(dòng)會(huì )更短，電離強度也會(huì )降低。

當樣品放入反應室時(shí)，咸陽(yáng)氧等離子體清洗機真空泵啟動(dòng)真空泵到一定程度，接通電源產(chǎn)生等離子體，氣體通過(guò)反應室內的等離子體進(jìn)入反應室，樣品并且易揮發(fā) 產(chǎn)生的副產(chǎn)品。它由真空泵提取。 1. 等離子體在宏觀(guān)上是電荷平衡的。通常，等離子體是電荷平衡的，但如果受到影響，等離子體內會(huì )發(fā)生局部電荷分離，從而產(chǎn)生電場(chǎng)。

氧等離子體處理硅片

, 由各種梯度引起的漂移運動(dòng)引起；由速度分布焦慮引起的損失錐不穩定性；以及波間相互作用引起的參數不穩定性。微觀(guān)不穩定性理論是基于動(dòng)力學(xué)理論的。換句話(huà)說(shuō)，它是從 Vlasov 方程研究的。線(xiàn)性理論通常用于研究不穩定性，它只能確定系統是否穩定，并且在某些情況下可以給出不穩定性在第一時(shí)刻的增長(cháng)率。如果在適當的條件下擾動(dòng)幅度增加并且演化趨于飽和，則應使用非線(xiàn)性理論對其進(jìn)行研究。

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