在芯片行業(yè)，等離子體表面怎么改性等離子技術(shù)已經(jīng)穩步成熟，但現在被蝕刻機、等離子清洗機等國外壟斷。 “但我國很多公司不知道從哪里獲得相關(guān)的等離子技術(shù)，”李建戈說(shuō)。正因為如此他有三個(gè)建議。一是在科研院所和高校設立方向明確的冷等離子體重點(diǎn)實(shí)驗室，提高理論和實(shí)驗水平。二是建立以多家公司為主體的等離子工程技術(shù)中心。與等離子工程進(jìn)行技術(shù)討論。三是加強國際合作。。
動(dòng)力系統與控制系統 – 提升汽車(chē)電子產(chǎn)品的可靠性 ?汽車(chē)動(dòng)力與控制系統中使用了大量具有復雜功能的電子系統，等離子體表面怎么改性而這些汽車(chē)電子產(chǎn)品需進(jìn)行可靠密封以提升元器件防潮、防腐蝕的能力。而在這些關(guān)鍵工藝中，等離子體表面處理工藝可以有效清潔、活化電子產(chǎn)品表面，提升后續注塑、灌膠工藝的結合力與可靠性，減少分層、針孔等不良的發(fā)生，從而保證電子系統安全高效的運行。
平板垂直電極真空等離子體設備的電極結構；這種電極結構不能簡(jiǎn)單地將水平電極轉換成垂直電極，等離子體新水性表面改性需要充分考慮金屬電極之間的間距、等離子體放電的均勻性、電極板的溫度控制、產(chǎn)品或材料的擺放等，產(chǎn)品的擺放通常有兩種方式：電極之間加夾子或掛鉤；在卡車(chē)上加一個(gè)夾子和鉤子來(lái)處理貨物。這種結構的等離子體放電均勻性?xún)?yōu)于水平電極。
（3）在真空室內的電極與接地裝置之間施加高頻電壓，等離子體新水性表面改性使氣體被擊穿，并通過(guò)輝光放電而發(fā)生離子化和產(chǎn)生等離子體。讓在真空室產(chǎn)生的等離子體完全籠罩在被處理工件，開(kāi)始清洗作業(yè)。一般清洗處理持續幾十秒到幾分鐘。 （4）清洗完畢后切斷高頻電壓，并將氣體及汽化的污垢排出，同時(shí)向真空室內鼓入空氣，并使氣壓升至一個(gè)大氣壓。
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