帶電粒子的這一性質(zhì)和動(dòng)能在磁力作用下不發(fā)生變化，涂膜的附著(zhù)力應不小于因此帶電粒子受到特定形式的非均勻磁場(chǎng)的束縛。例如，地球磁場(chǎng)捕獲帶電粒子以形成地球輻射帶（范艾倫帶）。用于熱核聚變的受控磁鏡裝置也利用這一特性來(lái)限制等離子體。。等離子波形非常復雜。既有橫波（波矢k垂直于電場(chǎng)E）和縱波（k平行于E），又有非橫波和非縱波之分。有橢圓偏振波、圓偏振波和線(xiàn)偏振波。波的相速度可以大于、等于或小于光的真空速度c。

等離子體中的電子的方向性低于離子也就是說(shuō)，涂膜的附著(zhù)力測定方法有電子入射角分布大于離子入射角分布，容易用光刻膠屏蔽，陽(yáng)離子聚集在蝕刻前端，在器件中形成正電位。 (4) 反向電子遮蔽效應。 ESE 發(fā)生在圖案緊密的區域，例如小于 0.5 μm 的圖案間隔。相反，在圖案的開(kāi)放區域，例如，當圖案間距超過(guò) 2 μm 時(shí)，由于電子的各向同性性質(zhì)。

在等離子體脈沖技術(shù)的斷電階段，涂膜的附著(zhù)力測定方法有產(chǎn)生大量負離子并通過(guò)通過(guò)平行的碳板，通過(guò)分離電子形成中性粒子束。與正離子相比，負離子在通過(guò)平行碳板時(shí)更容易被中和，主要是因為負離子分離電子的能量遠小于正離子轉移電荷的能量，因此負離子的中和效率遠高于正離子。例如，氯負離子的中和效率可以接近100%，而氯正離子的中和效率只有60%左右。

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一般認為，低溫等離子體設備根據其系統的能態(tài)、溫度和離子密度可分為高溫等離子體和低溫等離子體。前者電離度接近1，各粒子溫度基本相同，體系處于熱力學(xué)不平衡狀態(tài)，溫度一般為5&倍；104K以上，主要用于研究受控熱核反應；后一類(lèi)粒子的溫度不同，電子溫度遠高于離子溫度，體系處于熱力學(xué)不平衡狀態(tài)，宏觀(guān)溫度較低，一般氣體放電產(chǎn)生的等離子體就屬于這一類(lèi)；它與現代工業(yè)生產(chǎn)密切相關(guān)。

離子在宇宙的其他地方很豐富，但僅限于地球上的某些環(huán)境中。自然產(chǎn)生的離子包括閃電和極光。正如將固體變成氣體需要能量一樣，產(chǎn)生離子也需要能量。隨著(zhù)溫度的升高，物質(zhì)從固態(tài)變?yōu)橐簯B(tài)，液態(tài)變?yōu)闅鈶B(tài)。當氣體溫度升高時(shí)，氣體分子被分離成原子。隨著(zhù)溫度繼續升高，原子核周?chē)碾娮优c原子分離，形成離子（正電荷）和電子（負電荷）。這種現象稱(chēng)為“電離”。通過(guò)電離而帶有離子的氣體稱(chēng)為“等離子體”。

與傳統的化學(xué)清洗相比，等離子體清洗具有以下優(yōu)點(diǎn):1)等離子體清洗不需要加熱處理，在室溫或低溫環(huán)境下具有高效的清洗效果;2)等離子體避免了濕式化學(xué)清洗中酸、堿或有機溶劑引起的腐蝕危險，3)等離子清洗，不產(chǎn)生廢液，保護環(huán)境。

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