為降低光伏發(fā)電制造成本，氟材料刻蝕促進(jìn)太陽(yáng)能產(chǎn)品和技術(shù)的普及，發(fā)展綠色環(huán)保做出突出貢獻。目前，中國國內背板行業(yè)市場(chǎng)占有率達80%。目前，太陽(yáng)能底板主要包括涂覆底板、氟樹(shù)脂和涂覆在基材聚甲基乙酸乙酯丙烯腈PE膜外表面的復合底板。氟材料具有優(yōu)良的功能，耐熱、耐水、耐腐蝕，但又具有較高的排油功能，不利于與太陽(yáng)能包裝膜EVA粘合。
因此，氟材料刻蝕在封裝時(shí)，一般的解決方案是利用大氣等離子體設備表面潤濕性來(lái)增強氟材料與乙烯-醋酸乙烯共聚物(EVA)的粘附強度，從而為太陽(yáng)能電池提供穩定有效的保護。采用壓力等離子設備處理的氟涂層可增加外表面，降低接觸角，增加與EVA的剝離力，從而增強與EVA的附著(zhù)力。低溫等離子體加工能力和加工時(shí)間的提高有利于提高低溫等離子體的外表面功能。
對于CdTe薄膜太陽(yáng)能電池，氟材料刻蝕其原材料中的“鎘”已被證明是致癌物，因此與太陽(yáng)能電池的綠色能源特性略有沖突。此外，其原材料中的“碲”也相對昂貴。因此硅基薄膜電池更適合大規模生產(chǎn)。太陽(yáng)能電池板有兩種類(lèi)型:一種:涂覆式背板，采用在基材聚酯膜表面涂覆氟樹(shù)脂;二種:涂覆復合背板，采用在基材聚酯膜表面復合一層氟膜。氟材料具有優(yōu)越的功能，耐熱耐水、耐腐蝕，但又具有較高的拒水拒油功能，不利于與太陽(yáng)封裝膜EVA粘結。
目前主要有兩種類(lèi)型的太陽(yáng)能底板:一是涂布型底板，氟材料刻蝕設備在基材聚酯膜表面涂覆氟樹(shù)脂;二是涂布復合型底板，在基材聚對苯二甲酸乙二醇酯(PET)膜表面涂覆一層氟薄膜。氟材料具有優(yōu)異的性能，耐熱、耐水、耐腐蝕，但又具有較高的拒水、拒油性能，不利于與太陽(yáng)封裝膜EVA粘結。
氟材料刻蝕設備
所以包裝前通常的解決辦法是采用低溫等離子體處理低溫等離子體清洗機可以有效改善含氟材料的親水性表面，提高含氟材料與太陽(yáng)包裝膜乙烯-醋酸乙烯共聚物(EVA)的結合性能，為太陽(yáng)能電池提供穩定有效的保護。低溫等離子清洗機處理后的含氟涂層表面能增加，接觸角降低，EVA剝離力增大，從而改善涂層與EVA的結合性能。隨著(zhù)低溫等離子體處理功率和時(shí)間的增加，表面性能得到改善。
濕法和干法蝕刻的優(yōu)缺點(diǎn)比較:濕法清洗系統適用于高級無(wú)損無(wú)損的清洗，可用于制作有或沒(méi)有圖案的易損壞基板，包括帶保護膜的模板。為了在不損傷基體的情況下達到最佳的清洗效果，樣品上任何位置的兆字節能量密度必須保持略低于損傷閾值。濕法刻蝕技術(shù)使聲能在基板表面均勻分布，增加分布能以支持理想的清洗，并確保試樣損傷閾值在范圍內。該系統具有重復性高，均勻性好，先進(jìn)的Z兆強清洗功能，兆強輔助光刻膠剝離和濕法刻蝕功能。
等離子體清洗/蝕刻機產(chǎn)生等離子體設備設置在密閉容器中,兩個(gè)電極形成電場(chǎng)與真空泵達到一定程度的真空,天然氣越來(lái)越薄,分子之間的距離和自由流動(dòng)的分子或離子之間的距離也越來(lái)越長(cháng),在電場(chǎng)的作用下，它們相互碰撞形成等離子體，這些離子的活性非常高，其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵，在任何暴露的表面上引起化學(xué)反應，不同的氣體等離子體有不同的化學(xué)性質(zhì)，如氧等離子體具有高氧化性，可氧化光刻膠反應生成氣體，從而達到清洗的效果;腐蝕性氣體的等離子體具有良好的各向異性，因此可以滿(mǎn)足刻蝕的需要。
目前，單晶硅蝕刻主要有兩種方法:一種是濕法，濕法蝕刻由于其一定的局限性，如大量使用有毒化學(xué)品，操作不安全，橫向滲漏，以及浸泡膨脹的結果導致附著(zhù)力差，咬邊分辨率下降，已逐漸被干法蝕刻所取代。蝕刻硅的第二種方法是等離子體等離子體干蝕刻。傳統的等離子體刻蝕技術(shù)主要是在低壓真空室中進(jìn)行的。經(jīng)過(guò)多年的探索和改進(jìn)，這項技術(shù)已日趨完善。
氟材料刻蝕機器
供應商嚴格遵守現行國家標準和技術(shù)規范，氟材料刻蝕設備確保產(chǎn)品性能和質(zhì)量。機器保修一年。在質(zhì)保期內，設備發(fā)生故障(非人為損壞)，乙方應安排售后人員跟蹤處理，直至故障排除。保修期后(不包括非工作時(shí)間和工作日)，供方免費提供技術(shù)咨詢(xún)和檢驗費，只收取相關(guān)成本費用。。
金屬材料經(jīng)過(guò)低溫等離子表面處理機處理后，氟材料刻蝕設備材料表面結合力可達80 dynes以上，可滿(mǎn)足各種粘接、噴涂、印刷等工藝，達到去除靜電的效果。。低溫等離子發(fā)生器在工業(yè)上常被稱(chēng)為等離子表面處理設備，是一種新型的新技術(shù)機器，借助等離子發(fā)揮傳統清洗手段所不能發(fā)揮的效果。
