等離子清洗設備的最大特點(diǎn)是不分處理對象的基材類(lèi)型，均可進(jìn)行處理，對玻璃、金屬、半導體、氧化物和大多數高分子材料，如聚丙烯、聚酯、聚酰亞胺、聚氯乙烷、環(huán)氧、甚至聚四氟乙烯等都能很好地處理，并可實(shí)現整體和局部以及復雜結構的清洗。

材料表面常常會(huì )有油脂、油污等有機物及氧化層，在粘合、焊接前，需要用等離子處理來(lái)得到完全潔凈和無(wú)氧化層的表面。適用于金屬、玻璃、陶瓷等多種材料。

在等離子刻蝕過(guò)程中，通過(guò)處理氣體的作用，被刻蝕物會(huì )變成氣化物（例如在使用氟氣對硅刻蝕時(shí)）。處!理氣體和基體氣化物質(zhì)被真空泵抽出，表面連續被新鮮的處理氣體覆蓋。無(wú)需刻蝕部分應使用相應材料覆蓋起來(lái)

塑料、玻璃、陶瓷與聚乙烯（PE）、聚丙烯（PP）、聚四氟乙烯（PTFE）等一樣是沒(méi)有極性的，因此這些材料在印刷、粘合、涂覆前要進(jìn)行處理。在惰性材料表面生成活性基團，增強表面極性，提高表面能。等離子處理與灼燒處理相比，不會(huì )損害樣品，同時(shí)還可以十分均勻地處理整個(gè)表面，不會(huì )產(chǎn)生有毒煙氣，盲孔和帶縫隙的樣品也可以處理。

在等離子體表面活化產(chǎn)生的基團或等離子體引發(fā)聚合層不能與材料表面牢固結合時(shí)，采用等離子體接枝的方法來(lái)改善。等離子體接枝的原理為：首先利用表面活化在材料表面產(chǎn)生新的活性基團，利用此基團與后續的活性物質(zhì)產(chǎn)生化學(xué)共價(jià)鍵結合，后續的活性物質(zhì)中帶有能夠滿(mǎn)足應用的特定基團，以達到既能滿(mǎn)足表面特性又能牢固結合的目的。