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微波等離子體中的反應顆粒數遠大于RF等離子體表面處理儀中的反應等離子體數，附著(zhù)力試驗有什么方法會(huì )使反應速度更快，反應時(shí)間更短。其次，等離子的自然特性之一是能夠直接暴露在等離子體上產(chǎn)生自偏壓。這種自偏壓取決于等離子的激勵頻率。例如，頻率為2.45GHz的微波通常只需要5.15伏。同樣，RF等離子體表面處理儀自偏壓需要 伏。

低溫等離子表面處理機采用能量轉換技術(shù)，附著(zhù)力試驗有什么方法在恒定真空負壓下，通過(guò)電能將氣體轉化為高活性氣體等離子體。氣體等離子體溫和地清潔固體樣品的表面并改變其分子結構。實(shí)現了對樣品表面有機污染物的超清洗，有機污染物通過(guò)真空泵在極短的時(shí)間內排出，清洗能力可達分子水平。在某些條件下，樣品的表面性質(zhì)也會(huì )發(fā)生變化。

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在等離子體化學(xué)反應過(guò)程中，等離子體轉移化學(xué)能過(guò)程中的能量轉移大致如下：（1）電場(chǎng)+電子→高能電子（2）高能電子+分子（或原子）→（受激原子、受激基團、游離基團）活性基團（3）活性基團+分子（原子）→產(chǎn)物+熱（4）活性基團+活性基團→產(chǎn)物+熱量從上述過(guò)程可以看出，電子首先從電場(chǎng)中獲得能量，并通過(guò)激發(fā)或電離將能量傳遞給分子或原子。得到能量的分子或原子被激發(fā)，一些分子同時(shí)被電離，從而成為活性基團。

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