通常認為甲烷在等離子體發(fā)生器條件下以?xún)煞N方式產(chǎn)生乙炔： 1. CH自由基偶聯(lián)反應； 2. C2H6和C2H4的脫氫反應。如果體系中CO2濃度繼續升高，支架等離子體除膠機會(huì )消耗大量高能電子，C2H6、C2H4與高能電子碰撞的概率會(huì )不斷降低，進(jìn)而發(fā)生脫氫反應。受阻，C2H4 的產(chǎn)生量進(jìn)一步減少。因此，隨著(zhù)體系中CO2濃度的增加，C2H6和C2H4的摩爾分數趨于增加，C2H2的摩爾分數減小。

置于腔室中的基板表面一般具有羥基或氫端反應活性位點(diǎn)，支架等離子體除膠機器基板表面銅前驅體的飽和化學(xué)吸附量如下?；顒?dòng)站點(diǎn)的內容和密度密切相關(guān)。隨著(zhù)沉積循環(huán)次數的增加，基板表面的粗糙度緩慢增加，在實(shí)驗開(kāi)始時(shí)基板表面出現沉積，表明在初始生長(cháng)階段沒(méi)有生長(cháng)延遲，但在 10 內沉積是連續的循環(huán)，沒(méi)有得到銅膜。

等離子的方向不強，支架等離子體除膠機深入到細孔和凹入物體的內部完成清洗操作，所以不需要考慮被清洗物體的形狀。并且這些難清洗部位的清洗效果等同于或優(yōu)于氟利昂清洗。 & EMSP; & EMSP; 五、等離子清洗可顯著(zhù)提高清洗效率。整個(gè)清洗過(guò)程可在幾分鐘內完成，其特點(diǎn)是良率高。 6、等離子清洗需要控制的真空度在100PA左右，這個(gè)清洗條件很容易達到。

當溫度足夠高時(shí)，支架等離子體除膠機器分子中的原子獲得了足夠的動(dòng)能并開(kāi)始相互分離。分子在加熱時(shí)分解成原子狀態(tài)的過(guò)程稱(chēng)為離解。當溫度進(jìn)一步升高時(shí)，原子外的電子從原子核的結合中釋放出來(lái)，成為自由電子。失去電子的原子變成帶電離子，這個(gè)過(guò)程稱(chēng)為電離。電離（部分或完全電離）的氣體稱(chēng)為等離子體（或等離子體狀態(tài)）。等離子體是由帶正電和帶負電的粒子組成的氣體。由于正電荷和負電荷的總數相等，等離子體的凈電荷等于零。

支架等離子體除膠機

2. 用于估計測試油墨表面能的測量方法：當測試油墨施加??到表面后，在一處積聚時(shí)，固體的表面能低于油墨的表面能并保持不變。潮濕時(shí)，固體的表面能大于液體的表面能。固體的總表面張力可以通過(guò)使用一系列具有梯度表面能的測試油墨來(lái)確定。然而，被告知該方法無(wú)法確定表面能的極性和非極性部分。 3. 需要進(jìn)行網(wǎng)格切割測試（標準：DIN EN ISO2409 和 ASTM D3369-02）來(lái)檢查涂層的附著(zhù)力。

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