金屬電極的設計對等離子清潔功效有顯著(zhù)干擾金屬電極的設計對等離子清潔功效有顯著(zhù)干擾，主要包括金屬電極的材料、布局和尺寸。對于內金屬電極等離子表面處理器，由于金屬電極暴露在等離子中，某些材料的金屬電極會(huì )被某些等離子蝕刻或濺射，引起很多不必要的環(huán)境污染，致使金屬電極尺寸的變化，從而干擾等離子清潔系統的穩定性。
等離子清潔功效會(huì )伴隨著(zhù)輸出功率的提升而持續改善，當主要是物理的作用時(shí)，應減低壓力，提升離子能量。當主要是化學(xué)作用時(shí)，應提升一些壓力，以確保反應的氣體的濃度。較小的金屬電極間距可以將等離子限制在狹窄的區域，從而獲得更高密度的等離子，實(shí)現更快的清潔。伴隨著(zhù)間距的提升，清潔速度逐漸減低，但均勻性逐漸增強。金屬電極的尺寸通常決定等離子系統的總體容積。金屬電極的設計對等離子清潔功效有顯著(zhù)干擾00224818