低溫等離子設備可用于納米級表面清潔和小型樣品的活化等離子體是一類(lèi)物質(zhì)狀態(tài)，也叫第四態(tài)。在氣體中加入足夠的能量，這樣它就會(huì )離化成等離子態(tài)。等離子中的“活性”成分包括：離子、電子、活基、激發(fā)態(tài)(亞穩態(tài))和光量子等。等離子處理機是應用這種活性成分的特點(diǎn)來(lái)處理試品的表面，以滿(mǎn)足清潔等目的。
等離子表面處理設備，適用等離子清洗、活化、蝕刻等多種應用，設備能在嚴酷環(huán)境下穩定運行，滿(mǎn)足高均勻性的應用效果。低溫等離子設備是一類(lèi)小型、便宜的臺式等離子清洗設備，可用于納米級表面清潔和小型樣品的活化。
等離子處理機是應用能量轉換技術(shù)，在一定的真空負壓下，把氣體經(jīng)過(guò)電能轉化成活性很高的氣體等離子體，氣體等離子體輕緩地洗滌固體試品表面，引起分子結構的變化，從而實(shí)現對試品表面有機污染源的超清洗，在很短的時(shí)間內，有機污染源被機械泵抽干，其清洗能力可達分子級。材料的表面特征在一定條件下也會(huì )發(fā)生變化。低溫等離子設備可用于納米級表面清潔和小型樣品的活化00224362