簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，不銹鋼噴漆附著(zhù)力差主動(dòng)式清洗臺將多個(gè)晶圓一起清洗，優(yōu)點(diǎn)是設備成熟，生產(chǎn)率高，而單片晶圓清洗設備逐片清洗，優(yōu)點(diǎn)是清洗精度高，背面、斜面、邊緣都可以進(jìn)行有益清洗，一起防止晶圓之間的穿插污染。45nm之前，主動(dòng)清潔臺可以滿(mǎn)足清潔要求，現在仍在使用；而45以下的工藝節點(diǎn)則依賴(lài)于單片晶圓清洗設備來(lái)滿(mǎn)足清洗精度要求。在工藝節點(diǎn)數量不斷減少的情況下，單片清洗設備是未來(lái)可預見(jiàn)技術(shù)下清洗設備的主流。

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這種電離氣體是由原子，分子，原子團，離子，電子組成。其作用在物體表面可以實(shí)現物體的超潔凈清洗、物體表面活化、蝕刻 、精整以及等離子表面涂覆。 根據等離子體中存在微粒的不同，其具體可以實(shí)現對物體處理的原理也各不相同，加之輸入氣體以及控制功率的不同，都實(shí)現了對物體處理的多樣化。

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