主要過(guò)程包括：首先將待清洗工件送入真空室固定，油墨為什么附著(zhù)力不良啟動(dòng)真空泵等裝置抽真空排氣至10Pa左右的真空度；然后將用于等離子體清洗的氣體引入真空室（根據清洗材料的不同，選擇的氣體也不同，如氧氣、氫氣、氬氣、氮氣等），壓力保持在Pa左右；在真空室內的電極與接地裝置之間施加高頻電壓，使氣體分解并通過(guò)輝光放電使其電離，產(chǎn)生等離子體；真空室內產(chǎn)生的等離子體覆蓋被清洗工件后，清洗作業(yè)開(kāi)始，清洗過(guò)程持續數十秒至數分鐘。
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這樣當給電極兩端施加足夠高的交流電壓，pa對油墨為什么附著(zhù)力差電極之間氣體即使在大氣壓下也能夠被高壓擊穿，形成所謂的DBD放電。這種等離子清洗儀放電與輝光放電相似，表現得很均勻、散漫和穩定，其實(shí)際上是由許多細小的快脈沖放電通道構成的。通常放電氣體的壓強可達到1 atm (1 atm = 1.013X 10^5 Pa)，因此DBD放電屬于高氣壓下的非熱平衡放電，又被稱(chēng)為無(wú)聲放電。
簡(jiǎn)單如開(kāi)頭所說(shuō)，油墨為什么附著(zhù)力不良等離子清洗需要在真空狀態(tài)下進(jìn)行（一般需要保持在Pa周?chē)?，因此需要真空泵抽真空?/p>
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油墨為什么附著(zhù)力不良
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電子和原子，在等離子體狀態(tài)下擺脫原子束縛的中性原子、分子和離子無(wú)序運動(dòng)，能量很高，但整體是中性的。高真空室內的氣體分子被電能激發(fā)，加速后的電子相互碰撞，使原子和分子的外層電子被激發(fā)出軌道外，生成反應性高的離子或自由基。由此產(chǎn)生的離子和自由基繼續相互碰撞，并被電場(chǎng)加速。
其中，物理反應機制是活性粒子轟擊待清洗表面，使污染物脫離表面最終被真空泵吸走；化學(xué)反應機制是各種活性的粒子和污染物反應生成易揮發(fā)性的物質(zhì)，再由真空泵吸走揮發(fā)性的物質(zhì)，從而達到清洗目的。 我們的工作氣體，經(jīng)常用到氫氣（H2）、氮氣（N2）、氧氣（O2）、氬氣（Ar）、甲烷（CF4）等。
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