等離子加工設備的真空系統設計為了使大尺寸PCB進(jìn)行低溫等離子加工，鐵件電鍍后噴粉沒(méi)附著(zhù)力設計了一臺大型等離子加工設備。該設備具有真空度可調的真空系統、電極冷卻的供電系統、基于可編程控制器(PLC)和觸摸屏的控制系統。本文簡(jiǎn)要介紹了大型等離子體加工設備的組成和工作方式，詳細闡述了真空系統的設計，包括真空泵組的選型計算和基于有限元的真空室結構優(yōu)化設計。實(shí)踐證明，該設備具有產(chǎn)生視覺(jué)快、腔溫控制效果好等特點(diǎn)，已達到國內領(lǐng)先水平。

加熱到幾萬(wàn)度后，鐵件電鍍后噴粉沒(méi)附著(zhù)力就會(huì )變成物質(zhì)的第四個(gè)條件--等離子體！無(wú)論是大氣（常壓）還是真空（低壓），在數據外修時(shí)都會(huì )引入工藝氣體，如無(wú)水無(wú)油的潔凈壓縮空氣，有一定純度要求的氮氣、氧氣、氬氣等。

由于歐美的發(fā)展戰略已轉向汽車(chē)電子、物聯(lián)網(wǎng)等毛利率較高的領(lǐng)域，電鍍后噴漆 附著(zhù)力并逐步退出功率二極管業(yè)務(wù)，而臺灣廠(chǎng)商尋求穩定運行，但產(chǎn)能擴張相對保守。相比之下，中國大陸功率二極管具有較高的性?xún)r(jià)比，依托較強的成本控制能力在中低端品類(lèi)逐步開(kāi)放商場(chǎng)，接近中國龐大的下游商場(chǎng)，需求響應快，服務(wù)到位等經(jīng)營(yíng)優(yōu)勢，因此在鄉鎮需求巨大，國內替代確認，產(chǎn)能繼續開(kāi)放的發(fā)展戰略簡(jiǎn)而言之，中國電力二極管預計將接受全球產(chǎn)能轉移的局面。

在交變電場(chǎng)的攪動(dòng)下，鐵件電鍍后噴粉沒(méi)附著(zhù)力區域內的氣體產(chǎn)生等離子體?；钚缘入x子體對被清洗物表面進(jìn)行物理轟擊和化學(xué)反應，使被清洗物表面物質(zhì)變成顆粒和氣態(tài)物質(zhì)，抽真空排出，達到清洗目的。

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簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，該自動(dòng)清洗平臺是多片同時(shí)清洗，優(yōu)點(diǎn)是設備成熟，容量大，而單片清洗設備是一塊清洗，優(yōu)點(diǎn)是清洗精度高，背面、斜面和邊緣都可以有效清洗，同時(shí)避免晶圓之間的交叉污染。在45nm之前，自動(dòng)清洗臺就可以滿(mǎn)足清洗要求，目前仍在使用;45以下的工藝節點(diǎn)依靠單片清洗設備來(lái)實(shí)現清洗精度要求。隨著(zhù)工藝節點(diǎn)的不斷減少，單片晶圓清洗設備是當前可預見(jiàn)技術(shù)下未來(lái)清洗設備的主流。

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