其中，對玻璃又有一附著(zhù)力的物質(zhì)物理反應機制是活性粒子轟擊待清洗表面，使污染物脫離表面最終被真空泵吸走；化學(xué)反應機制是各種活性的粒子和污染物反應生成易揮發(fā)性的物質(zhì)，再由真空泵吸走揮發(fā)性的物質(zhì)，從而達到清洗目的。 我們的工作氣體，經(jīng)常用到氫氣（H2）、氮氣（N2）、氧氣（O2）、氬氣（Ar）、甲烷（CF4）等。

等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì)：處于高速運動(dòng)狀態(tài)的電子；處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團（自由基）；離子化的原子、分子；未反應的分子、原子等，對玻璃又有一附著(zhù)力的物質(zhì)但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。

當電子在電場(chǎng)中加速時(shí)，附著(zhù)力的評價(jià)標準是什么會(huì )獲得高能量，與周?chē)姆肿踊蛟影l(fā)生碰撞。因此，電子在分子和原子中被激發(fā)，它們處于被激發(fā)或離子狀態(tài)。此時(shí)，物質(zhì)存在的狀態(tài)是等離子體狀態(tài)。輝光放電條件下，在高頻電場(chǎng)中處于低壓狀態(tài)的氧氣、氮氣、甲烷、水蒸氣等氣體分子可以分解加速的原子和分子，這樣產(chǎn)生的電子可以解離成帶正負電荷的原子和分子。當電子在電場(chǎng)中加速時(shí)，會(huì )獲得高能量，與周?chē)姆肿踊蛟影l(fā)生碰撞。

例如，對玻璃又有一附著(zhù)力的物質(zhì)如果把帶正電荷的球體放在等離子體中，它會(huì )吸引等離子體中的電子，排斥這些離子，從而在球體周?chē)纬蓭ж撾姾傻那蝮w&ldquo；電子云&rdquo；.真空等離子體清洗機中的等離子體具有振蕩特性：一般等離子體處于平衡狀態(tài)時(shí)，其密度分布在宏觀(guān)上是均勻的，而在微觀(guān)上則是有升有降，且不均勻，密度波動(dòng)具有振蕩特性。

對玻璃又有一附著(zhù)力的物質(zhì)

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當氣體的溫度升高時(shí)，此氣體分子會(huì )分離成為原子，若溫度繼續上升，圍繞在原子核周?chē)碾娮泳蜁?huì )脫離原子成離子（正電荷）與電子（負電荷），此現象稱(chēng)為“電離”。因電離現象而帶有電荷離子的氣體便稱(chēng)為“等離子（PLASMA）”。因此通常將等離子歸類(lèi)為自然界中的“固體”、“液體”、“氣體”等物態(tài)以外的“第四態(tài)”。

附著(zhù)力的評價(jià)標準是什么