等離子體中的活性粒子撞擊微生物細胞膜，電解板噴涂附著(zhù)力不合格當活性粒子量達到一定數目即可穿透細胞膜，與內部的蛋白質(zhì)、核酸等物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應，破壞細胞電解質(zhì)平衡，甚至滲透到細胞內部擊穿細胞核導致細胞死亡。關(guān)于低溫等離子體能夠殺菌消毒的機理,至今為止人們仍然沒(méi)有得到比較圓滿(mǎn)的答案。國內外學(xué)者對此作了大量相關(guān)實(shí)驗,相繼提出了各種關(guān)于等離子體殺菌消毒機理的假說(shuō)。

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等離子體表面處理（點(diǎn)擊了解詳情）一般采用非聚合性氣體，噴涂附著(zhù)力不合格包括非反應性氣體和反應性氣體。 非反應性氣體指He、Ar等惰性氣體，這類(lèi)氣體的等離子體作用于材料時(shí)，惰性氣體原子并不與高分子鏈結合，等離子體表面處理而是對表面進(jìn)行刻蝕和產(chǎn)生自由基，但當材料接觸空氣后表面的自由基會(huì )繼續與空氣中的活性氣體發(fā)生反應，生成極性基團。

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優(yōu)勢在于使用自上而下和微電子處理技術(shù)來(lái)處理小型嵌入式模塊，用于在線(xiàn)監測活生物體。由于這類(lèi)裝置需要植入體內，所以所用材料的生物相容性非常重要，不會(huì )引起身體強烈排斥。否則，監測數據的可靠性和（降低的）可靠性將降低。傳感器將丟失。眾所周知，微電子加工技術(shù)是以硅加工為基礎的。因此，有必要將硅等離子體浸入等離子體中以提高生物相容性。

太陽(yáng)能板也叫太陽(yáng)能電池板，可以將太能光直接轉化成電能，它本質(zhì)是一種光電半導體薄片，目前已經(jīng)在很多場(chǎng)景中都有廣泛應用。

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（1）化學(xué)反應在化學(xué)反應里常用的氣體有氫氣（H2）、氧氣（02）、甲烷（CF4）等，這些氣體在電漿內反應成高活性的自由基，其方程式為：這些自由基會(huì )進(jìn)一步與材料表面作反應。其反應機理主要是利用等離子體里的自由基來(lái)與材料表面做化學(xué)反應，在壓力較高時(shí)，對自由基的產(chǎn)生較有利，所以若要以化學(xué)反應為主時(shí)，就必須控制較高的壓力來(lái)近進(jìn)行反應。

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