典型的等離子化學(xué)清洗技術(shù)是氧等離子清洗。在此過(guò)程中中行成的氧自由基是極其活躍的，附著(zhù)力促進(jìn)劑不會(huì )揮發(fā)很容易與烴類(lèi)發(fā)生反應，行成揮發(fā)性物質(zhì)，如二氧化碳、一氧化碳和水等，從而去除表面的污染物。

物理反應機理是活性粒子轟擊被清理表面，附著(zhù)力促進(jìn)劑不會(huì )揮發(fā)使污染物從表面被清除，最后被真空泵吸走?；瘜W(xué)反應機理是多種活性顆粒與污染物反應生成揮發(fā)性物質(zhì)，然后由真空泵吸入揮發(fā)性物質(zhì)，從而達到清洗的目的。我們的工作氣體經(jīng)常使用氫氣(H2)、氮氣(N2)、氧氣(O2)、氬氣(Ar)、甲烷(CF4)等。

其中，臺州耐高溫附著(zhù)力促進(jìn)劑物理反應機制是活性粒子轟擊待清洗表面，使污染物脫離表面最終被真空泵吸走；化學(xué)反應機制是各種活性的粒子和污染物反應生成易揮發(fā)性的物質(zhì)，再由真空泵吸走揮發(fā)性的物質(zhì)，從而達到清洗目的。 我們使用的工作氣體，經(jīng)常用到氫氣（H2）、氮氣（N2）、氧氣（O2）、氬氣（Ar）、甲烷（CF4）等。

　　2. 等離子體是由電子、離子、自由基、激發(fā)態(tài)分子和原子、基態(tài)分子和光子等組成，臺州耐高溫附著(zhù)力促進(jìn)劑表面上看呈電中性，其實(shí)內部具有很強的電特性、化學(xué)特性和熱效應。

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由于電子質(zhì)量極小，因此比離子的移動(dòng)速度要快的多，當進(jìn)行等離子體處理時(shí)，電子要比離子更早達到物體表面，并使表面帶有負電荷，這有利于引發(fā)進(jìn)一步反應。

當這樣產(chǎn)生的電子在電場(chǎng)中加速時(shí)，它們將獲得高能量并與周?chē)狞c(diǎn)分離當電子或原子碰撞時(shí)，其結果是電子在分子和原子中被激發(fā)，它們處于被激發(fā)或離子狀態(tài)。此時(shí)，物質(zhì)存在的狀態(tài)是等離子體狀態(tài)。除了氣體分子、離子和電子外，還有電中性原子或原子團（也稱(chēng)自由基）被等離子體發(fā)出的能量和光激發(fā)，其中波的長(cháng)度和能量在等離子體與材料表面的相互作用中起著(zhù)重要作用。氮氣作為一種非活性氣體，在等離子體清洗過(guò)程中主要用作非反應性氣體。

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