1 高頻感應等離子體發(fā)生器，拉開(kāi)法附著(zhù)力定心裝置又稱(chēng)高頻等離子體炬，或稱(chēng)射頻等離子體炬。它利用無(wú)電極的感應耦合，把高頻電源的能量輸入到連續的氣流中進(jìn)行高頻放電。2 電弧等離子體發(fā)生器，又稱(chēng)電弧等離子體炬，或稱(chēng)等離子體噴槍?zhuān)袝r(shí)也稱(chēng)電弧加熱器。它是一種能夠產(chǎn)生定向“低溫”（約 2000～20000開(kāi)）等離子體射流的放電裝置。

主要過(guò)程包括:首先,工件清洗到真空室固定,啟動(dòng)真空泵和其他設備開(kāi)始大約10 pa真空度的真空排氣;然后介紹等離子體清洗氣體進(jìn)入真空室(根據不同的清洗材料,氣體是不同的,如氧、氫、氬、氮、等),在真空室中，拉開(kāi)法附著(zhù)力定心裝置在電極與接地裝置之間施加高頻電壓，將氣體擊穿并通過(guò)輝光放電使其電離，產(chǎn)生等離子體。待真空室中產(chǎn)生的等離子體完全覆蓋被清洗工件后，開(kāi)始清洗操作，清洗過(guò)程從幾十秒到幾分鐘不等。

在這個(gè)裝置中，拉開(kāi)法附著(zhù)力定心裝置兩個(gè)電極被放置在一個(gè)封閉的容器內以形成一個(gè)電場(chǎng)，一個(gè)真空泵提供真空。隨著(zhù)氣體越來(lái)越稀薄，分子結構與分子結構或離子自由運動(dòng)的距離越來(lái)越大。它們在電場(chǎng)的作用下與等離子體碰撞形成等離子體。它的活性非常高，能量轉換足以破壞幾乎所有的離子鍵，并且在暴露的表面上會(huì )發(fā)生化學(xué)反應。在真空下，等離子體對工件表面進(jìn)行化學(xué)或物理處理，以去除分子結構水平（通常為 3 至 30 納米厚）。

在電場(chǎng)的作用下，拉開(kāi)法附著(zhù)力試驗儀器氣體中的自由電荷從電場(chǎng)中獲得能量，成為高能電子。這種高能電子與氣體中的大分子碰撞。如果電子的能量大于大分子或原子的刺激能量，就會(huì )產(chǎn)生刺激大分子或原子的自由基。等離子體表面處理中的活性粒子通常具有接近或超過(guò)碳或其他碳鍵的能量，因此它們可以隨著(zhù)氣體或固體表面引入系統而產(chǎn)生化學(xué)或物理效應。

拉開(kāi)法附著(zhù)力試驗儀器

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其中，波的長(cháng)度和能量對等離子體與物體表面的相互作用起著(zhù)重要作用。1）原子團等自由基與物體表面反應。2）電子對物體表面的作用。3）離子對物體表面的作用。。真空等離子體表面處理設備，利用能量轉換技術(shù)將氣體轉化為高活性等離子體進(jìn)行處理，真空等離子體表面處理設備應用優(yōu)勢，清洗時(shí)間可任意調節，適用于各種環(huán)境。

等離子體是由帶正電荷的正負粒子（包括正離子、負離子、電子、自由基及各種活性基團等）組成的集合體，其中正負電荷電荷相等，故稱(chēng)等離子體，是除固體、液體、氣體外物質(zhì)存在的第四種狀態(tài)--等離子體狀態(tài)。浩瀚宇宙中99%的物質(zhì)存在于等離子體中并展開(kāi)等離子體能量改變了世界處于等離子體狀態(tài)的物質(zhì)具有很高且不穩定的能級。

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