據統計，廣東rtr型真空等離子體噴涂設備70%以上的混合集成電路產(chǎn)品故障是由于接合不良造成的。這是因為結區在制造過(guò)程中不可避免地會(huì )受到不同類(lèi)型的污染物的污染，包括不同的有機和無(wú)機殘留物。未經(jīng)處理的直接鍵合會(huì )導致虛焊、焊錫脫落、鍵合強度降低等缺陷，導致接頭應力差異較大，不能保證產(chǎn)品的長(cháng)期可靠性。等離子清洗技術(shù)可以有效去除鍵合區的污染物，提高鍵合區的表面化學(xué)能和潤濕性。因此，引線(xiàn)鍵合前的等離子清洗可以顯著(zhù)降低鍵合失敗率并提高產(chǎn)品可靠性。
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?等離子清洗plasma領(lǐng)域的有關(guān)的工業(yè)生產(chǎn)人士都知道，等離子體低溫灰化爐溫度范圍等離子設施廣泛的被適用在像半導體，生物，醫療，還有光學(xué)，平板顯示，等工業(yè)生產(chǎn)上面，它是利用一些活性的組分來(lái)處理樣品的表層，實(shí)現清潔，清洗，改性等作用。真空等離子清洗plasma設施適用在半導體行業(yè)已經(jīng)有一定的基礎了，是因為在制程過(guò)程中在灌裝的時(shí)候出現了一些像氧化，潮濕等一系列的問(wèn)題。
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廣東rtr型真空等離子體噴涂設備
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：電子、離子、激發(fā)的分子原子、自由基、光子等，它們的能量范圍為1～10eV，這是纖維材料中有機分子結合能的能量范圍，所以等離子體中的活性粒子解吸. 與纖維材料表面存在濺射、激發(fā)、蝕刻等物理化學(xué)作用，以及交聯(lián)、氧化、聚合、接枝等化學(xué)反應。 1.天然纖維和紡織品天然纖維和紡織品主要是指棉、麻、兔毛、羊毛和絲綢。
4.取兩個(gè)并顯示OK產(chǎn)品，一個(gè)是臟的，在同一位置暴露的ITO汗水（不戴手套，直接戴上指套，大約15分鐘后，指套有汗漬），然后打開(kāi)產(chǎn)品腐蝕觀(guān)察（車(chē)間溫度控制范圍：22°C +/- 6 ° C，濕度控制范圍 55% +/- 15%）。產(chǎn)品 A 進(jìn)行了等離子清洗，但產(chǎn)品 B 沒(méi)有。連續通電（200小時(shí)）測試后的結果如下。產(chǎn)品 A 在 71.5H 上電時(shí)缺少一排，在 77H 上電時(shí)缺少第二排。
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隨著(zhù)能量密度從 380 kJ/mol 增加到 1500 kJ/mol，廣東rtr型真空等離子體噴涂設備C2H4 的選擇性從 36.0% 降低到 16.2%。 C2H2 的選擇性從 55.4% 下降到 24.2%。表 3-5 給出了能量密度對氣體產(chǎn)品 C2H4/C2H2 比和 H2/CO 比的影響。不同能量密度下C2H4/C2H2比和H2/CO比值在0.63~0.68和2.47~2.91范圍內變化。
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