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技術(shù)知識

Plasma 高功率擴展型FPC等離子表面處理機

發(fā)布時(shí)間:2022-04-01 16:03:57 瀏覽數:591

FPC Plasma 高功率擴展型等離子表面處理機

與擴展型一樣具有雙倍的清洗速率,高功率擴展型等離子清洗機是一款多功能的工具,適用于刻蝕有機薄膜(10--100nm)以及表面活化改性。

PDC-HP高功率擴展型等離子清洗機

PDC-001-HP (116V); PDC-002-HP (229V)

主要特點(diǎn):

緊湊臺式設備、沒(méi)有RF放射、符合CE安全標準。

功率為低、中、高三檔可調。 低檔功率相當于PDC-2 擴展型等離子清洗機的高檔功率設置 清洗腔:長(cháng)6.5英寸,直徑6英寸的耐熱玻璃腔體 , 腔蓋可拆卸 帶有視窗的鉸鏈門(mén) 自動(dòng)風(fēng)扇冷卻 集成真空泵開(kāi)關(guān) 1/8NPT針孔閥控制氣流及腔體壓力; 整機尺寸:11英寸H × 18英寸W × 9英寸D; 重量:37 lbs; 選配件 石英等離子清洗腔; 氣體流量混合器; 真空泵;

參考客戶(hù)

蘭州大學(xué) 鄭州大學(xué) 上海交通大學(xué) 上海復旦大學(xué) 合肥工業(yè)大學(xué) 成都電子科技大學(xué) 北京大學(xué) 清華大學(xué)醫工所 蘭州化物所 中科院納米所 等等

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