廣東金徠科技有限公司，是一家專(zhuān)門(mén)研發(fā)和制造低溫低壓等離子清洗機、等離子射頻電源和大氣（常壓）等離子清洗機的高科技企業(yè)。

用途：

金徠等離子清洗機可用于清洗、刻蝕、磨砂和表面準備等?？蛇x擇40KHz、13.56MHz和2.45GHz三種射頻發(fā)生器，以適應不同的清洗效率和清洗效果需要。

金徠等離子清洗/刻蝕機具有成本低廉、操作靈活的特點(diǎn)，主要適合于高科技生產(chǎn)單位的以下場(chǎng)合：

半導體開(kāi)發(fā)、集成電路開(kāi)發(fā)、真空電子行業(yè)、生命科學(xué)實(shí)驗等等。

金徠等離子清洗/刻蝕機具有以下特點(diǎn)：

可以更靈活地操作，簡(jiǎn)便地改變處理氣體的種類(lèi)和處理程序；不會(huì )對操作人員的身體造成任何傷害；其成本對于等離子處理方法來(lái)說(shuō)是微不足道的。

等離子系統能夠以不同的形式進(jìn)行整合，例如以模塊系統的形式。在下文中您可以大致了解能夠與Femto 等離子系統一同使用的最常見(jiàn)的選裝件。Femto 等離子系統主要應用于以下領(lǐng)域：

分析

考古

汽車(chē)行業(yè)

研究和開(kāi)發(fā)部門(mén)

半導體技術(shù)

小批量生產(chǎn)

塑料技術(shù)

醫療技術(shù)

微系統技術(shù)

傳感器

滅菌

紡織技術(shù)

技術(shù)參數：

系列

Femto

控制系統

半自動(dòng)型

PCCE 控制系統 (MicrosoftWindows CE)

PC 控制系統 (Microsoft Windows POS Ready 2009)

體積

1.9~6L

真空腔室

圓形不銹鋼件，配有蓋子

（大約Φ100 mm, 長(cháng) 278 mm 或者長(cháng) 600 mm）

（約寬 103 x 深 285 x 高 103)

配有蓋子的圓形鋁材，或者配有鉸鏈的門(mén)

（大約Φ 95 mm, 長(cháng) 280 mm 或者長(cháng) 600 mm）

配有蓋子的圓形石英玻璃 (UHP)，或者配有鉸鏈的門(mén)

（大約Φ95 mm, 長(cháng) 280 mm 或者長(cháng) 600 mm）

配有蓋子的硼硅玻璃 (UHP) 或者配有鉸鏈的門(mén)

（大約Φ 95 mm，長(cháng) 280 mm 或者長(cháng) 600 mm）

電極

單層或多層

RIE

樣品支架

（選項：水冷型）、石英玻璃舟皿、粉末轉鼓、散裝件轉鼓、鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃

氣源

針型閥

質(zhì)量流量控制器 (MFCs)

壓力計

Pirani

Baratron（適用于腐蝕性氣體版本）

計時(shí)器

數字型

高頻電流發(fā)生器

40 kHz: 功率 0 - 100 W；0 - 1000 W

13.56 MHz；功率 0 - 50 W；0 - 300 W

12.45 GHz: 功率 0 - 100 W；0 - 300 W

所有發(fā)生器均為 0 - 10 無(wú)級可調型

真空泵

KASHIYAMA

電源

供電電源：臺式設備為 230 V，立式設備為 400 V/3 相位

備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設計結構、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、Faraday Box、等離子體聚合配件、測試墨水、 氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置、慢速抽吸裝置、TEM樣品架法蘭、維護/服務(wù)、當地語(yǔ)言的文件、現場(chǎng)安裝，包括培訓?？蓱筇峁┑钠渌x項。

%0