高壓脈沖等離子清洗機技術(shù)
1提出了用高壓毫微秒脈沖產(chǎn)生的非平衡等離子體處理印染廢水的方法。
2采用四極質(zhì)譜儀測量了試驗參數對高壓脈沖增強射頻磁控濺射ptfe靶等離子體氣氛的影響規律。
3等離子體源離子注入裝置由脈沖負高壓源系統、熱陰極弧放電系統、真空室及樣品臺、真空系統和監測系統等五部分組成。
