D還是不同等級的生產(chǎn)環(huán)境，均可以給客戶(hù)提供工藝關(guān)聯(lián)的、控制連續的、可靠的、和可重復的真空氣體等離子處理系統。
plasmaFPC 系列等離子處理機器適合于廣泛的等離子清洗、表面活化和粘接力增強應用。這些能力可用于半導體封裝工廠(chǎng)，微電子封裝和組裝，也可以用于醫藥和生命科學(xué)器件的生產(chǎn)。
等離子處理設備的特點(diǎn)和優(yōu)勢
帶觸摸屏的PLC控制器提供了直觀(guān)圖形界面和實(shí)時(shí)工藝呈現
無(wú)論是直接等離子，還是下游等離子模式，彈性架板結構都可以應對各種不同的樣品載具
13.56 MHz 射頻發(fā)生器有自動(dòng)阻抗調諧，實(shí)現了良好的工藝再現性
批處理類(lèi)型，每一個(gè)單元都包含在機器內部，只需要較小的占地面積
專(zhuān)有的軟件控制系統生成工藝和生產(chǎn)數據用于統計制成控制
批處理等離子&清洗設備
plasmaFPC系列批處理真空等離子系統提供了小、中、大三種不同真空腔體尺寸的選擇。
